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PECVDの低温成膜、優れた膜質、電子機器、光学機器、医療機器への汎用性を発見してください。
PECVDがどのようにプラズマを利用して低温での薄膜成膜を実現し、それが敏感な基板にどのように適しているかを学びましょう。プロセスパラメータとその利点を探ります。
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PECVDとCVDの主な違いを探る:PECVDはプラズマを使用してより低温での堆積を実現し、熱に弱い材料やより高速なプロセスに理想的です。
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PECVDとLPCVDの成膜の違いを掘り下げます:温度、速度、品質、純度。より良い結果のために堆積プロセスを最適化しましょう。
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