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半導体、太陽電池、医療機器などにおけるPECVDの応用を探り、低温で高性能な薄膜成膜を実現します。
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PECVDプロセスにおけるRF電力、ガス流量、温度の調整が、カスタムアプリケーション向けに膜の電気的、機械的、光学的特性をどのように変化させるかを学びましょう。
半導体、光学、コーティング向けに、酸化ケイ素、窒化ケイ素、DLC、アモルファスシリコンなどのPECVD堆積膜を探る。
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プラズマエッチング化学気相成長法(PECVD)、その低温プロセス、利点、および感熱性の高い基板への均一な薄膜形成への応用について学びましょう。
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