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PECVDの圧力範囲(mTorrからTorr)が、優れた材料特性のために膜密度、成膜速度、および密着性をどのように制御するかを学びましょう。
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PECVDの誘電体、半導体、コーティングを低温で成膜する能力を探求しましょう。敏感な基板や高度なアプリケーションに最適です。
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PECVDの利点を発見してください:低温プロセス、高い成膜速度、半導体およびエレクトロニクス産業における熱に弱い基板に対する優れた膜品質。
PECVDシステムの利点を発見してください:低温動作、優れた膜品質、高い堆積速度、および熱に敏感な基板への汎用性。
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