真空炉は、真空環境で作動するように設計された特殊な加熱システムで、加工材料の酸化や汚染を防止します。その構造には、正確な温度制御を行いながら真空状態を作り出し維持するために、複数の統合されたシステムが協調して作動することが含まれます。主な構成要素には、二重ウォータージャケット構造の炉本体、ポンプとバルブを備えた真空システム、極端な温度にも対応可能な発熱体、温度制御システム、冷却やマテリアルハンドリングなどの各種サポートシステムがあります。これらのコンポーネントは、効率的な熱伝達とプロセス制御を確保しながら、高温と真空圧に耐えられるよう慎重に設計されています。
キーポイントの説明
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主な炉構造
- 高強度鋼板製で、熱管理のためのダブルウォータージャケット設計
- 確実な密閉のためのギア＆ラック駆動ドア機構を採用
- 真空チャンバーは高温と真空の両方の条件に耐えるように設計されています。
- 上部真空チャンバーは、効率的な熱伝達のためのU字管熱交換器を含む
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真空システムコンポーネント
真空炉 真空炉システム 真空炉システムはいくつかの重要な要素から構成されています：- 真空を作り、維持するための真空ポンプ（機械式、拡散式、またはターボ分子式
- 圧力レベルをモニターするための真空測定装置（ゲージ
- ガスの流れを制御するための特殊真空バルブ
- 真空の完全性のために設計されたパイプラインとシール
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加熱システム
- 最高2400℃まで可能な電気発熱体
- タングステン発熱体を使用した誘導加熱装置
- 温度効率を維持する高度な断熱材
- 熱媒水を利用した相変化熱交換システム
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制御およびサポートシステム
- 正確な加熱・冷却カーブのための温度制御システム
- 電力供給システム（誘導加熱用の中間周波数電力を含む）
- 最適な運転条件を維持するための水冷システム
- コンポーネント操作用の空気圧／油圧システム
- 充填機構と搬送装置を備えたマテリアルハンドリングシステム
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操作プロセス
- 部品をチャンバーに入れるローディングシステム
- 酸素やその他のガスを除去して真空にするシステム
- 制御された温度傾斜による精密加熱
- 不活性ガスまたは急冷技術を使用した冷却段階
- 非凝縮性ガスを除去する真空メンテナンスシステム
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特殊機能
- 下部構造の燃焼室と伝熱管
- 真空運転用に設計された作業台とベース
- 連続処理のための電動供給装置
- 熱損失を最小限に抑える高度な断熱材
総括表
| コンポーネント | 主な特徴 |
|---|---|
| 主な炉構造 | 高強度鋼、ダブルウォータージャケット、ギア＆ラックドア、U字管熱交換器 |
| 真空システム | 機械式/拡散ポンプ、真空計、専用バルブ、気密シール |
| 加熱システム | 電気/誘導加熱（最高2400℃）、高度な断熱、相変化熱交換 |
| 制御とサポート | 精密温度制御、水冷、空気圧/油圧システム、マテリアルハンドリング |
| 特殊機能 | 燃焼室、真空操作用ワークテーブル、電動供給装置 |
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