これらのCVD装置は、2インチ（約50.8mm）と1インチ（25.4mm）の2種類の標準サイズの石英管に対応している。さらに、より小さなサンプル処理を必要とする特殊な用途向けに、70mm径の管状炉もあります。これらの寸法は、多様な実験または産業ニーズに対応し、材料処理量と精度のバランスをとる。システムはまた、PECVDのようなプロセス用のガスフロー制御（0～500sccm）も統合しており、半導体、太陽電池、生物医学の各アプリケーションへの適応性を保証しています。
キーポイントの説明
-
一次水晶管サイズ
- 2インチ (50.8mm):半導体ウェハーのコーティングやバルク材料の合成など、より大規模なプロセスに最適。
- 1インチ（25.4mm）:MEMSデバイスや小ロット研究など、より細かい制御が必要な精密アプリケーションに適しています。
- これらのサイズとの互換性は、産業およびラボスケールのワークフローにおける柔軟性を保証します。
-
専用70mmチューブオプション
- 石英管炉 石英管炉 内径70mmの石英管状炉は、より小さな試料（薄膜やナノ材料など）に対応し、光学コーティングや生物医学研究のようなニッチな用途に効率的です。
-
システムの多様性
- これらのチューブサイズは、正確な反応制御のためのガスフローシステム（Ar/H₂、0-500 sccm）によってサポートされるPECVDおよび他のCVDプロセスと統合される。
- 太陽電池、マイクロエレクトロニクス、バリアコーティングなど、チューブ径が成膜の均一性や材料特性に影響する用途に適している。
-
購入者への考慮事項
- スループットと精度:大型チューブ（2インチ）は大量生産に適しており、1インチまたは70mmチューブは細部にこだわる作業に最適。
- ガス適合性:プロセスの安定性を維持するために、チューブの寸法とガス流量を一致させる（例えば、細いチューブでの乱流を避ける）。
-
将来への備え
- モジュール設計では、チューブの交換が可能な場合がある。サイズ間の拡張が予想される場合は、システムの仕様を確認して適応性を確認する。
これらのオプションは、標準化とカスタマイズのバランスを反映したものであり、研究開発または製造上の要求の進展に装置を合わせるために重要である。
総括表
| 水晶管サイズ | 直径 (mm) | 最適 |
|---|---|---|
| 2インチ | 50.8 | 大規模プロセス（半導体ウェハー、バルク材料合成） |
| 1インチ | 25.4 | 精密アプリケーション（MEMSデバイス、小ロット研究） |
| 70mm | 70 | ニッチアプリケーション（薄膜、ナノ材料、光学コーティング） |
お客様のCVDシステムに最適な石英管サイズで、ラボをアップグレードしてください！ KINTEKまでお問い合わせください。 にご相談ください。PECVD管状炉や真空対応コンポーネントなど、当社の高度なCVDソリューションは、精度と拡張性を重視して設計されています。半導体研究、太陽電池開発、生物医学アプリケーションのいずれにおいても、当社はお客様のプロセス効率と成果を高めるオーダーメイドのソリューションを提供します。
