3ゾーン式スプリット管状炉は、様々な工業および研究所の環境に対応する柔軟な電源オプションを提供します。単相交流220Vおよび三相交流415Vが主な選択肢で、多様な電源要件や設備インフラに対応します。これらの炉は以下のような高温用途向けに設計されています。 化学蒸着炉 マルチゾーン温度制御や堅牢な安全機構などの高度な機能を備えています。
主なポイントを説明する：
1. 電源オプション
-
単相AC220V:
- 小規模なオペレーションや電気インフラが限られた施設に最適。
- 研究室やパイロットスケールの生産など、電力需要が中程度の用途に適しています。
-
415V三相交流:
- より高い入力を必要とする工業規模の運転に最適。
- 高温プロセス（1800℃まで）やマルチゾーン構成でも安定した性能を確保。
2. アプリケーション固有の機能
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マルチゾーン制御:
- 半導体ドーピングやナノ材料合成などのプロセスで重要な、3つのゾーンにわたる独立した温度調節が可能。
- マスター／スレーブコントローラーオプションは、均一性と再現性を最適化します。
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カスタマイズ:
- チューブ径（50～120mm）およびホットゾーン長さ（300～900mm）は、特定のニーズに合わせて調整可能。
- 発熱体（カンタル、SiC、MoSi2）は、温度要件と材料適合性に基づいて選択。
3. 安全性と精度
- 過熱保護と熱電対破損アラームが操作の安全性を確保します。
- ステッププログラミング機能により、複雑なワークフローでも正確な温度プロファイリングが可能。
4. 産業上の意義
- 分割管炉は、熱勾配の制御が不可欠な半導体製造、セラミック、材料科学分野で広く使用されています。
- 三相電源(415V)は、大規模な化学気相成長炉や化学気相蒸着炉のようなエネルギー集約的な用途をサポートします。 化学蒸着リアクター システムに最適です。
適切な電源と構成を選択することで、ユーザーは研究および工業規模の熱処理の両方で性能を最適化できる。
総括表
| 特徴 | 220V単相AC | 415V三相交流 |
|---|---|---|
| 用途 | 小規模ラボ、パイロット生産 | 工業規模の高出力ニーズ |
| 温度範囲 | 1800℃まで | 1800℃まで |
| 主な利点 | インフラ需要の低減 | 安定したハイパワー性能 |
| 代表的な用途 | 研究、ナノ材料 | CVDリアクター、半導体ドーピング |
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