3ゾーン管状炉は最大60mm (約2インチ) までの試料に対応し、アニールや化学蒸着など様々な熱処理用途に適しています。コンパクトでありながら汎用性の高いこの炉は、1000°C以下の温度で作動し、制御雰囲気処理用のガス供給マニホールドなどの機能を備えています。3つの独立した加熱ゾーンで正確な温度制御を維持しながら、柔軟性を優先した設計となっています。
キーポイントの説明
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最大サンプル数
- 管状炉 3ゾーン管状炉 最大 60mm（2インチ） 直径または長さ（方向による）。
- このサイズは、温度の均一性を損なうことなく、アニール、焼結、CVDプロセス用の一般的な実験室規模の材料に対応します。
- 購入者への配慮 :試料ホルダー／るつぼが、加熱中の熱膨張を考慮してこの寸法内に収まるかどうかを確認してください。
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設計の適合性
- 炉の管状チャンバー（通常はセラミックファイバーまたは金属合金）はこの試料範囲に最適化されており、効率的な熱伝達を保証します。
- 大きな試料はガスの流れを妨げたり、3つのゾーンの熱吸収が不均一になり、プロセスの一貫性に影響を及ぼす可能性があります。
- 実用的なヒント :不規則な形状のサンプルの場合、発熱体との接触を避けるため、最長寸法が60mmを超えないようにしてください。
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温度と雰囲気の柔軟性
- 炉によっては最高1700°Cまで到達しますが、60mm試料限界は標準の <1000°C アニール/CVDの動作範囲。
- 付属のガスマニホールドにより、不活性または反応性雰囲気にすることができ、このサイズの制約内で酸化に敏感な材料には不可欠です。
- トレードオフ :温度が高くなると、サンプルホルダーの熱膨張により、有効作業スペースが狭くなる可能性があります。
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比較優位性
- 60mmの容量はスループットと精度のバランスがとれており、研究開発や少量生産に理想的です。
- より大きなサンプルにはより大きな炉が必要となり、グラジエントベースのプロセスを可能にする3ゾーン独立温度制御が犠牲になります。
- メンテナンス :定期的な校正により、特に上限サイズの試料を処理する際に、安定した性能を保証します。
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安全性と後処理
- 60mmに近い試料は、熱衝撃を防ぐため、デシケーター内で長時間の冷却が必要な場合があります。
- 機械的/拡散ポンプを介した）真空互換性は、繊細な試料の汚染のない冷却をサポートします。
購入者にとって、このサイズ仕様は、るつぼやボートなどの互換性のあるアクセサリーを選択する際に極めて重要です。お客様の典型的なワークフローでは、この制約の中で複数の小型試料と少数の大型試料のどちらが有益でしょうか？ファーネスのモジュール性により、厳密なプロセス制御を維持しながら、多様なニーズに適応することができます。
総括表
| 特徴 | 仕様 |
|---|---|
| 最大サンプルサイズ | 60mm（2インチ） |
| 温度範囲 | 1000℃まで（標準） |
| 加熱ゾーン | 3つの独立したゾーン |
| 大気制御 | ガス供給マニホールド付属 |
| 主な用途 | アニール、CVD、焼結 |
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