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PECVDとLPCVDを比較:半導体および材料科学用途における温度、速度、膜質の差異。
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均一な焼結とひび割れのない結果を得るために、QTKマッフル設計、赤外線予備乾燥、精密な温度制御などの主要な炉技術をご覧ください。
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