管状炉は高温用途に多用途のソリューションを提供し、多様な産業および研究ニーズに対応する標準およびカスタマイズ可能なオプションを備えています。標準構成には固定管径 (50-120mm) およびホットゾーン長さ (300-600mm) が含まれ、カスタマイズには寸法、材質、最高温度範囲 (1800°C) が含まれます。主なバリエーションにはシングルゾーン、マルチゾーン、スプリット型があり、以下のような精密な雰囲気制御のオプションもあります。 雰囲気レトルト炉 .標準セットアップとカスタムセットアップの選択は、熱均一性、加熱速度、化学蒸着や材料合成などのアプリケーション固有の要件などの要因によって決まります。
キーポイントの説明
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標準構成
- チューブ径:通常は50mm、80mm、100mm、120mmで、サンプル容量と熱分布のバランスをとる。
- ホットゾーン:標準長さは300mmまたは600mmで、大きなサンプルには900mmまで延長可能。
- 温度範囲:1200℃、1500℃、1800℃の3段階-カンタル(低温用)、SiC、MoSi2(高熱用)などの発熱体を使用。
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カスタマイズ可能な機能
- 寸法:特殊なサンプル形状に対応するため、標準外のチューブ径やホットゾーンの長さにも対応します。
- 材料:石英管、アルミナ管、または金属合金管で、耐薬品性または熱伝導性のために選択される。
- 電源と制御:調整可能なワット数と高度なPIDコントローラにより、正確なランプレートやマルチステッププログラムを実現。
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加熱技術
- 抵抗加熱:均一な熱分布の標準。アニールなどの定常的な用途に最適。
- 誘導加熱:迅速な加熱(熱分解に有効)と、熱がチューブとサンプルに集中するためエネルギー効率が高い。
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ゾーン構成
- シングルゾーン:熱勾配を最小限に抑えるため、水冷式エンドキャップと組み合わせることが多い。
- マルチゾーン:セグメント間で独立した温度制御(グラジエント試験や連続反応など)。
- 分割デザイン:炉を分解することなくサンプルの出し入れを容易にします。
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雰囲気制御
- CVDや焼結のような用途に不可欠で、ガス流入/流出ポートまたは真空シールによって実現します。
- 雰囲気レトルト炉 不活性ガスまたは反応性ガス環境用の密閉レトルトを統合します。
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熱性能
- 均一性:最適化されたエレメント配置と断熱材により、360°軸で±1°Cを確保。
- スピード: インダクションモデルは加熱が速く(数分対数時間)、時間に敏感な反応のプロセス時間を短縮します。
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用途に応じた選択
- 素材合成:精密な温度管理と雰囲気(酸化防止のための窒素など)が必要。
- 熱処理:一貫した冶金学的特性のために均一性が要求される。
- 垂直対水平:縦型は床面積を節約し、横型は連続フロープロセスに適しています。
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エネルギー効率
- 誘導型はチューブとサンプルのみを加熱することで無駄を省き、マルチゾーン型は少量サンプルのエネルギー消費を最小限に抑えます。
速度、均一性、雰囲気制御のいずれを優先するかなど、運用上のニーズにこれらのオプションを合わせることで、ユーザーは特定のワークフローに合わせて管状炉の性能を最適化することができます。
総括表
特徴 | 標準オプション | カスタマイズ可能オプション |
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チューブ径 | 50mm、80mm、100mm、120mm | 非標準サイズ |
ホットゾーンの長さ | 300mm、600mm | 900mmまで |
温度範囲 | 1200℃、1500℃、1800 | 材料別調整 |
加熱技術 | 抵抗(均一) | 誘導(急速) |
雰囲気制御 | 基本ガスポート | 密閉レトルト、真空システム |
ゾーン構成 | シングルゾーン | マルチゾーン、分割設計 |
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