1ピース」と「3ピース」のSiC抵抗器の動作温度限界は、雰囲気(空気または不活性)によって異なります。空気またはアルゴンやヘリウムのような不活性雰囲気では、「1ピース」SiC抵抗器は1700°C(3100°F)まで動作可能ですが、「3ピース」抵抗器は1425°C(2600°F)までです。これらの抵抗器は並列または直列に接続でき、バランス加熱には並列が好ましい。取り付け上の注意点としては、張力を避け、熱膨張を許容することです。窒素やアルゴンを使用した不活性雰囲気は、酸化や汚染を防ぎ、高温用途に最適です。
キーポイントの説明
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抵抗器タイプ別温度限界
- 一体型SiC抵抗器:最高使用温度 3100°F (1700°C) 空気または不活性雰囲気(アルゴン/ヘリウム)中。
- スリーピースSiC抵抗器:下限温度 2600°F (1425°C) を同じ条件で使用してください。
- これらの制限を超えると抵抗器が劣化する可能性があるため、安定した性能と寿命を保証します。
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大気に関する注意事項
- 不活性ガス(アルゴン/窒素):半導体製造のような高純度プロセスで重要な酸化と汚染を防ぐ。
- 空気:空気は使用可能だが、極端な温度では酸化の危険性があるため、重要な用途では不活性雰囲気が望ましい。
- mpcvdマシンのような mpcvdマシン 不活性ガスが反応環境を正確に制御します。
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電気的構成と取り付け
- 並列接続と直列接続:並列配置は、時間の経過とともに抵抗の自己バランスをとり、均等な熱分布を確保するため好ましい。
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取り付けガイドライン:
- 機械的ストレスを避けるため、張力をかけない。
- 自由に伸縮できるようにする(水平/垂直取り付け)。
- 垂直設置には絶縁サポートを使用する。
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不活性雰囲気の目的
- 加熱中の劣化から繊細な材料を保護する。
- 制御された環境で反応性ガスを導入するCVD(化学気相成長)のようなプロセスを可能にする。
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購入者にとっての実際的な意味合い
- 素材適合性:抵抗器のタイプが動作温度と雰囲気の要件に適合していることを確認する。
- システムの統合:最適な性能を得るために、取り付けの柔軟性と電気的構成を考慮する。
- コスト対純度:窒素は一般的な用途でコスト効率が高く、アルゴンは高純度のニーズに適している。
これらの要素を総合して、性能、安全性、コストのバランスをとりながら、高温用途の機器を選択する指針となる。
総括表
抵抗タイプ | 空気中/不活性中の最高温度(°F/°C) | 望ましい雰囲気 | 主な検討事項 |
---|---|---|---|
一体型SiC | 3100°F (1700°C) | 不活性(アルゴン/ヘリウム) | より高い温度限界、極端な熱に最適 |
スリーピースSiC | 2600°F (1425°C) | 不活性(アルゴン/ヘリウム) | 下限温度、並列バランス加熱 |
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