真空管炉は主に石英管またはコランダム管を密閉容器として使用し、ステンレス鋼のフランジで密閉して気密状態を維持する。これらの材料は高温耐性と化学的不活性から選ばれ、熱処理、材料合成、化学蒸着などのプロセスに適しています。炉のサイズ、温度範囲、制御システムは、特定の産業ニーズに合わせてカスタマイズすることが可能で、その用途は低温乾燥からエレクトロニクスや医療産業における高温処理まで多岐にわたる。
キーポイントの説明
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主な容器材料
- 石英管:1200℃までの温度に最適で、プロセス監視用に透明で、熱衝撃に強い。乾燥やCVDのような低温用途でよく使用される。
- コランダム管（アルミナ）:1800℃までの高温に耐え、焼結や結晶成長などの高温プロセスで優れた耐薬品性を発揮します。
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シール機構
- 真空定格ガスケット付きステンレス鋼フランジは、以下のようなプロセスで真空の完全性を維持するために重要な気密シールを保証します。 真空ホットプレス機 操作または焼き入れ。
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カスタマイズオプション
- 直径/長さ:標準的なチューブの直径は50～120mmで、特殊な用途には900mmまでのホットゾーンがあります。
- 加熱エレメント:カンタル（1200℃以下用）、SiC（1500℃以下）、またはMoSi2（1800℃以下）素子が温度要件に適合。
- 制御システム:PID、タッチスクリーン、PLCオートメーションなど、精密な温度管理のためのオプションがあります。
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容器タイプ別アプリケーション
- 石英:低温乾燥、CVD、または脱バインダー（ポリマー除去など）。
- コランダム:高温焼結、合金熱処理、単結晶育成など。
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炉の構成
- 水平/垂直/回転設計:均一なガスフローには水平型、粉体処理には垂直型、混合に敏感な反応には回転型。
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購入者にとっての主な考慮事項
- 素材適合性:チューブがプロセス化学薬品（腐食性ガスなど）に耐えることを確認する。
- 熱均一性:長いホットゾーン（600mm以上）は温度勾配を低減します。
- 真空の完全性:フランジデザインはリーク率に影響する。超高真空には二重のOリングシールが必要かもしれない。
これらの容器は、航空宇宙（真空ろう付け）や生物医学インプラント（精密焼結）のような分野での進歩を静かに可能にし、産業革新における縁の下の力持ちとしての役割を証明している。
総括表
| 特徴 | 水晶管 | コランダム管 |
|---|---|---|
| 最高温度 | 1200℃まで | 1800℃まで |
| 主な特性 | 透明、耐熱衝撃性 | 化学的に不活性、高温安定 |
| 一般的な用途 | CVD、乾燥、脱バインダー | 焼結、結晶成長、合金処理 |
| シール機構 | 真空ガスケット付きステンレス鋼フランジ | 石英と同じで耐久性が向上 |
| カスタマイズ | 直径（50～120mm）、PID/PLC制御 | 長いホットゾーン (900mm)、MoSi2エレメント |
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