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石英管炉が、精密な熱および化学的制御を通じて、Nドープ炭素由来炭素(N-CDC)の塩素化エッチングをどのように可能にするかを学びましょう。
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石英管炉の主な欠点(脆さ、温度限界、化学的感度など)を検討し、情報に基づいた実験室機器の選択に役立ててください。
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CVDプロセスを通じて石英管炉で高品質なMoS2結晶成長を実現する、マルチゾーン加熱と精密なガス流量制御の方法を学びましょう。
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